真空相關小知識

PECVD：等離子體增強化學氣相沉積，指借助微波或者射頻波使腔室內的反應氣體分子電離，形成的高化學活性等離子體在基片表面發生化學反應，沉積成膜。
PECVD根據等離子發射源的動作情況可分為動態和靜態。
根據設備結構可分為鏈式、團簇式和U型。

根據射頻頻率的不同可分為RF-PECVD(13.56MHz)和VHF-PECVD（30-300MHz）

HJT設備：導質結電池設備

PVD：物理氣相沉積（(Physical Vapour Deposition)，表示在真空條件下，采用物理方法，將材料源——固體或液體表面氣化成氣態原子、分子或部分電離成離子，并通過低壓氣體（或等離子體）過程，在基體表面沉積具有某種特殊功能的薄膜的技術。 

CVD：化學氣相沉積（Chemical Vapor Deposition）化學氣相沉積乃是通過化學反應的方式，利用加熱、等離子激勵或光輻射等各種能源，在反應器內使氣態或蒸汽狀態的化學物質在氣相或氣固界面上經化學反應形成固態沉積物的技術。•簡單來說就是：兩種或兩種以上的氣態原材料導入到一個反應室內,然后他們相互之間發生化學反應，形成一種新的材料，沉積到基片表面上。•從氣相中析出的固體的形態主要有下列幾種：在固體表面上生成薄膜、晶須和晶粒，在氣體中生成粒子。

深圳市科銳詩汀科技有限公司在真空行業多年，致力于做專業事，公司有以下業務：
一、真空獲得產品有：
    1、美國安捷倫（Agilent Technologies)的旋片泵、干泵、羅茨泵、分子泵、分子泵機組、擴散泵、離子泵。
    2、德國普發（PFEIFFER）的旋片泵、隔膜泵、螺桿泵、泵組、羅茨泵、分子泵、分子泵機組。

    3、英國愛德華（EDWARDS）真空泵

    4、德國萊寶（LEYBOLD）真空泵

二、真空測量產品有：

    1、瑞士英福康（INFICON）真空計及控制器

       CDG電容膜片真空計（CDG020D、CDG025D、CDG045D、CDG100D、CDG160D、CDG200D、CDG025-C)

       BAG402 B-A型真空計

       BPG400 BPG402-S B-A型皮拉尼真空計

       HPG400高壓強熱電離型皮拉尼真空計

       BCG450 B-A型皮拉尼電容膜片真空計

       PSG500/-S PSG502-S PSG510-S PSG512-S PSG550 PSG552 PSG554皮拉尼標準真空計

       PCG550 PCG552 PCG554皮拉尼電容膜片真空計、

       PEG100潘寧真空計、

       MAG500/504 MPG500/504 MPG400/401反磁控/反磁控皮拉尼真空計、

       VGC501 VGC502 VGC503 PGD400真空顯示控制器

       PGE050 VGC031 BAG050 BAG051 BAG052 BAG053 VGC083A/VGC083B被動型真空計和控制器。

    2、美國MKS Granville-Phillips真空計及控制器

      390 Micro-lon ATM模塊

      392 Micro-lon Plus模塊

      356 Micro-lon Plus模塊

      385 Convectron ATM模塊 復合式模塊化真空計、

      275 Mini-Convectron模塊模擬量輸出型

      275 Mini-Convectron模塊DeviceNet型

      354 Micro-lon模塊

      347 Stabil-lon模塊 模塊化一體式真空計、

      307BA規控制器

      358Micro-lon規管控制器

      370 Stabil-lon規管控制器

      475 Convectron規管控制器等系列真空規管控制器、

      274 BA電離規。

三、真空檢測產品：

    1、瑞士英福康（INFICON）LDS2010模塊化系統檢漏儀（通用于集成于工業的漏測試系統）、Moudul1000模塊化氦檢漏儀（集成于中等自動化的檢漏臺）、UL1000 UL1000Fab UL5000氦檢漏儀、Protec p3000氦吸槍檢漏儀。

    2、瑞士英福康（INFICON）殘余氣體分析儀（RGA）和質譜儀

       Transpector CPM3緊湊型過程監控器

       Transpector  SPS 殘余氣體分析儀
       Transpector  XPR3+ 殘余氣體分析儀

       Transpector  MPH 殘余氣體分析儀

       Transpector  MPS 殘余氣體分析儀

       QMG 700 分析質譜儀

四、真空輔助產品有：
     1、中國臺灣日揚（HTC）真空法蘭、波紋管、卡扣、中心圈、轉接頭、真空角閥、全金屬角閥、真空蝶閥、真空插板閥。
     2、瑞士英福康（INFICON）真空連接件、視窗、真空饋入件。

     3、瑞士英福康（INFICON）薄膜沉積控制產品

        Cygnus 2 膜厚控制儀（OLED應用）

        IC6 膜厚控制儀（光學應用）

        XTC/3膜厚控制儀

        SQC-310系列膜厚控制儀

        IQM-233膜厚控制儀插件板

        SQM160多層膜速率/膜厚監測儀

        STM-2XM 2通道速率/膜厚監測儀

        STM-3 可擴展的薄膜膜厚/速率監測儀

       STM-2 USB薄膜膜厚/速率鍍層監測儀

   4、美國MKS 質量流量控制器 1179C GE50A。

   5、瑞士福特林（Vogtlin)

      red-y smart 智能型系列 熱式質量流量計和控制器（精確可靠）
      red-y compact緊湊型系列 熱式質量流量計（便捷的數字化設備）

      red-y 系統 （OEM應用 實現流量測量的要求）

      Q-Flow 浮子流量計
      V-100 浮子流量計

      M-Flow 高精度調節閥

五、真空鍍膜設備

    SVACFilmLab-B箱式鍍膜機（可集成電子束、熱蒸發、磁控濺射等多個沉積模塊）

    SVAC-FilmLab-T臺式鍍膜設備（可集成熱蒸發、磁控濺射等沉積模塊）

    SVAC-FimLab-G帶手套箱式鍍膜設備（圓形蒸發源（金屬/有機交替分布）/束源爐）（鍍鈣鈦礦）

    SVAC-FimLab-C束線多腔鍍膜設備

    SVAC-UHVLab-MT材料吸氣率測試設備

    SVAC-UHVLab-IMT絕熱材料放氣率測試設備

    SVAC-PStat-80高真空分子泵機組

    SVAC-CryoLab低溫真空系統

    SVAC-CryoLab-TC低溫絕熱材料熱導率試驗臺

    CryoLab-OSt4低溫恒溫器

    SVAC-Sub 有機小分子升華提純系統（OLED材料）