氦質(zhì)譜檢漏儀是一種利用氦氣作為示蹤氣體來檢測微小泄漏的精密儀器。廣泛應(yīng)用于航空航天、制冷行業(yè)、汽車制造、半導(dǎo)體生產(chǎn)以及核能等行業(yè)，用于檢測密封系統(tǒng)中是否存在微小的泄漏。氦質(zhì)譜檢漏技術(shù)因其高靈敏度和快速響應(yīng)時間而受到重視。核心部分是一個高真空系統(tǒng)，包括一個質(zhì)譜分析儀和一個氦氣分壓傳感器。工作時，首先將待測設(shè)備或組件置于一個特定的壓力環(huán)境中，然后向其內(nèi)部注入氦氣。如果存在泄漏，氦氣會隨著泄漏點逃逸到外部。檢漏儀通過吸氣探針（吸槍）收集周圍的氣體樣本，然后將這些氣體引入到質(zhì)譜分析儀中。在高真空條件下，氦氣分子會被離子化，隨后被質(zhì)譜儀中的磁場分離。氦離子經(jīng)過放大后到達收集器，產(chǎn)生與氦氣濃度成正比的電信號，從而確定泄漏率。
氦質(zhì)譜檢漏儀的主要特點：
1.高靈敏度：能夠檢測出非常微小的泄漏，通常在10^-9至10^-12mbar·l/s范圍內(nèi)。
2.快速響應(yīng)：檢測結(jié)果即時顯示，適合在線檢測和快速診斷。
3.非破壞性：測試過程不會對被測件造成損傷，適合對成品或半成品進行質(zhì)量控制。
4.廣泛適用性：可用于多種類型的密封性能測試，如真空系統(tǒng)、壓力容器、管道連接等。
5.可重復(fù)性好：測試結(jié)果穩(wěn)定可靠，便于重復(fù)測試和長期監(jiān)控。
操作流程：
1.準備階段：確保檢漏儀校準完畢，并設(shè)置好測試參數(shù)。
2.樣品準備：將待測部件或系統(tǒng)按照要求進行隔離，并在合適的位置注入氦氣。
3.檢測過程：使用吸槍沿著疑似泄漏區(qū)域掃描，收集氣體樣本。
4.數(shù)據(jù)分析：觀察質(zhì)譜儀讀數(shù)變化，判斷是否存在泄漏并評估泄漏率。
5.結(jié)果記錄：記錄測試結(jié)果，并根據(jù)需要進行修復(fù)或標記。
6.清理復(fù)位：測試結(jié)束后，清理設(shè)備并恢復(fù)到起始狀態(tài)，準備下一次測試。
氦質(zhì)譜檢漏儀的維護保養(yǎng)：
1.定期校準：確保設(shè)備的準確性和可靠性，需要定期校準。
2.清潔探頭：避免探頭堵塞或污染，定期清理吸槍和過濾器。
3.檢查管路：檢查所有連接管路是否完好，防止泄漏或損壞。
4.軟件更新：定期更新控制軟件，以獲得最佳性能和最新功能。
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