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真空系統(tǒng)前級泵抽速選擇
真空系統(tǒng)前級泵抽速選擇
更新時(shí)間：2016-09-26 點(diǎn)擊次數(shù)：2078
前級泵
抽速選擇
排氣口壓力低于一個(gè)大氣壓的傳輸泵如擴(kuò)散泵、油增壓泵、羅茨泵、渦輪分子泵等，它們工作時(shí)需要前級泵來維持其前級壓力低于臨界值，選用的前級泵必須能將主泵的zui大氣體量排走，根據(jù)管路中，各截面流量恒等的原則有：
PnSg≥PgS 或
Sg≥Pgs/Pn
Sg－前級泵的有效抽速(l/s)
Pn－主泵臨界前級壓強(qiáng)(zui大排氣壓強(qiáng))(l/s)
Pg－真空室zui高工作壓強(qiáng)(托)
S－主泵工作時(shí)在Pg時(shí)的有效抽速。(l/s)
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