真空矩形閥

產品應用

Htc真空矩形閥是采用了直連驅動技術的真空閥，外形尺寸小，設計緊湊，所有動件皆位于大氣側因而與真空側隔絕，可減少粉塵產生，并提升產品的使用壽命。另外還有無氣壓時的封合自鎖保護，封板快速拆裝設計易維修等優點。

設計原理/特征

l   低振動及低粉塵設計(Low vibration and Low particle)

l   利用凸輪機構與彈簧完成封板封合動作。

l   雙氣壓缸、單出力軸驅動。

l   驅動軸桿封合頂緊輔助裝置。

l   無氣壓時的封合自鎖保護裝置。

l   封板快速拆裝設計，方便O-ring維修更換。

l   100 萬周期壽命。

真空矩形閥分類

l   標準型矩形閘閥(Standard Rectangular Transfer valves)

l   標準型矩形門型閘閥(Rectangular doors)

l   大型矩形閘閥(Large rectangular transfer valves)

l   大型矩形門型閘閥(Large rectangular doors)

Body 材質

鋁合金或不銹鋼(Aluminum or Stainless)

Body 表面處理

電解拋光 or 鋁硬陽處理(Electrolytic polishing or Hard anodized Aluminum)