EDWARDS復(fù)合渦輪分子泵

性能特點(diǎn)

兼容TIC渦輪儀表控制器。

多種通訊模式。

并口，用于傳統(tǒng)控制信號(hào)接口。

串口，用于RS-232接口。

通過RS-232接口，用戶可以設(shè)置各種參數(shù)RS-232。

正常泵速顯示。

準(zhǔn)備轉(zhuǎn)速顯示。

泵溫。

增強(qiáng)型泵速、功耗、溫度監(jiān)測(cè)。

技術(shù)數(shù)據(jù)

入口法蘭                       DN63ISO-K

壓縮比

N2                            >1 x 10E11

He                            1 x 10E6

出口法蘭                       DN16NW

級(jí)間口（Hi型）                DN25NW

放氣口                         1/8 inch BSP

吹掃凈化口                     1/8 inch BSP

zui高入口壓力（抽輕氣體） *

水冷（水溫15°C，大氣溫度40°C）     2 x 10E-2 mbar

空冷（大氣溫度35°C）                 1 x 10E-2 mbar

額定轉(zhuǎn)速                       90000 rpm

工作轉(zhuǎn)速                       49500～90000 rpm （缺省 63000 rpm）

轉(zhuǎn)速達(dá)到90%所需時(shí)間 **        110 s

冷卻方式                       空冷/水冷

大氣溫度（空冷）               5-35 °C

冷卻水zui低流速（水溫15 °C）    15 l/h

水溫范圍                       10-20 °C

入口法蘭zui高溫度               100 °C

工作姿態(tài)                       垂直

噪音（1m處）                  <50 dB（A）

控制器（推薦）                 TIC100 渦輪控制器或TIC100渦輪儀表控制器

重量                           3.0 kg

   前級(jí)泵也可以使用抽速更大的旋片泵，還可使用極限真空小于5mbar的隔膜泵。
   * 超出該入口壓力時(shí)，轉(zhuǎn)速為額定轉(zhuǎn)速。
   ** 此時(shí)功率80W。
   *** 沒安裝入口篩網(wǎng)。安裝篩網(wǎng)時(shí)，泵速下降約10%。
       前級(jí)泵為兩級(jí)旋片泵，并烘烤48小時(shí)。
       Pb<5 mbar（500 Pa）并烘烤48小時(shí)。

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